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Plasma Processing Devicesプラズマ処理装置

バレル式
減圧プラズマ処理装置

等方性プラズマにより対象物の形状に問わず処理が可能。
処理室サイズやRF出力仕様は用途に合わせカスタマイズできます。

粉体表面改質
減圧プラズマ処理装置

各種粉体の表面改質処理が可能。
有機物処理・親水化・分散化還元・ライトエッチングなど
RF出力仕様は用途に合わせカスタマイズできます。

平行平板式
減圧プラズマ装置

中型基板・フィルムなどの処理ができます。
自動搬送システムの追加オプションも可能。
電極サイズやRF出力仕様は用途に合わせカスタマイズできます。

ハンディタイプ
大気圧プラズマユニット

大気圧下でのプラズマ処理が可能。
研究・実験用途などに最適。
持ち運び可能なコンパクトサイズ。
照射部は、ガンタイプとペンタイプが選べます。

多段プラズマ処理装置

複数枚の中小型基板の一括同時処理が可能。
縦方向に複数のステージ/電極を設置。
1SETの高周波電源・マッチャー及びポンプ・メインバルブによる真空引き、放電を実現。

Roll to Rollプラズマ処理装置

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