Plasma Cleaningプラズマクリーニング
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主にO2プラズマ技術を活用することにより有機物を除去することにより、薬液を使用しないドライ表面洗浄が実現できます。
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主にO2プラズマにより、ドライな環境下で対象物表面の有機物のクリーニングが可能で、様々な業界で利用される技術です。
ガラスや樹脂等の基板状の対象物に対しては枚葉処理が可能な平行平板プラズマ処理装置でプラズマ処理。立体状の対象物は全方位からプラズマ処理が可能なバレルタイププラズマ装置でプラズマ処理。など、目的対象物に応じてプラズマ処理が可能です。
加工品の残油、油脂等の除去、有機汚染物の除去
1.汚れ除去
金属、樹脂成型品の汚れ、ミスプリント部の除去
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2.結合前の洗浄
ボンディング前プラズマクリーニング
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3.滅菌
医療機器等の有機汚染物除去、滅菌
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