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WET Related EquipmentWET洗浄装置

WET洗浄装置

枚葉基板洗浄装置

概要
基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。

特長
・UV/03によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上
・UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
・基板傾斜水洗機能による自然落下及び置換

枚葉エッチング装置

概要
LCD等の基板を水平搬送にて、エッチング/シャワー洗浄/乾燥処理を行います。

特長
・ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングによる均一なプロセス
・エッチング/シャワー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
・基板傾斜水洗機能による自然落下効果及び置換

枚葉スピンプロセッサー

概要
基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行います。

特長
・優れたパーティクル除去性能
・高速スピン洗浄によるタクトタイムの大幅短縮
・省スペースによるコンパクト化

マルチスピンプロセッサー

概要
基板をスプレー方式にて現象/エッチング/乾燥処理を行います。

特長
・スピン&スプレー併用により高精度で均一なプロセス
・ダブルハンドロボットによる搬送
・現像/エッチング/乾燥等のプロセスを並列処理
・カップ洗浄機能付
・N2ブローと高速スピン回転による短時間での乾燥

カセット洗浄装置

概要
LCD用のカセットを高圧温純水スプレーにて洗浄後、HOTエアーブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。

特長
・シンプルな機構設計で省スペース、省エネルギー化
・カセット内側の専用ノズルによるコーム洗浄
・圧縮エアーとスピン回転の併用による乾燥
・HOT-FFU搭載によるチャンバー加温システム

マスク洗浄装置

概要
LCD等のマスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、高速スピンにより乾燥を行います。

特長
・インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト
・メカニカルサイドグリップ方式を採用したマスクパターン非接触
・自動マスク反転機構を備えた両面洗浄技術
・マスクケースにより自動取り出し収納機構
・超音波ノズルによるスキャンスプレー洗浄

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