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Plasma Processing Technologyプラズマ処理技術

プラズマとは

物質の三態(固、液、気)に対し第四態として定義され分子原子が電離もしくは中性ラジカルとなっている状態をプラズマ状態という。この状態は非常に高い反応性を有し分子原子が自ら発光している状態にあり自然界では太陽、雷、オーロラなどが例として挙げられる。

プラズマ処理の事例集

表面改質

物質の表面をプラズマ処理することにより、物質の特性を向上、または変化させる技術。
親水化/親水性の向上、親油化/親油性の向上、撥水化、表面粗化、他

アッシング・デスカム・エッチング・デスミア

電子部品業界において、薬液を使用せずDRYな環境下でのレジスト剥離やスカム除去を目的としたアッシング、デスカム処理やSiO2膜などの微細加工を目的としたエッチング、プリント基板のレーザー加工後のスミア除去を目的としたデスミア処理などが可能です。

プラズマ洗浄/プラズマクリーニング

薬液を使用せず、ドライな環境下で、金属やガラス、樹脂等に付着した汚れ、有機物の除去を可能とします。

還元処理

薬液や還元処理剤を使用せず、金属表面等の酸化膜をプラズマ処理により除去します。

焼結

プラズマにより粒子表面の分散剤と酸化膜が除去される。還元活性化された金属ナノ粒子同士が分子間力により、引き付け合い統合する。

生体親和

インプラント医療における材料表面の生体親和性向上を実現するプラズマ改質を提供できます。

プラズマ処理の使用例

プラズマ処理の用途

各業界で活躍しているプラズマ処理技術の用途についてご紹介します。

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