研究用に最適なスピン洗浄機です！
ウエハ、ガラス基板等をスピン回転させながら薬液処理、リンス及び乾燥を行います。
機能と特徴
・小型ながらも優れた除去性能
・無駄を省いた小フットプリント
概略仕様
・対応サイズ
160W×170L以下
8インチウェハ以下
・本体外形寸法（突起物除く）
W1,000×D1,500×H1,100
2020/10/02
小型スピン洗浄装置
2020/10/02
ウエハ、ガラス基板等をスピン回転させながら薬液処理、リンス及び乾燥を行います。
機能と特徴
・小型ながらも優れた除去性能
・無駄を省いた小フットプリント
概略仕様
・対応サイズ
160W×170L以下
8インチウェハ以下
・本体外形寸法（突起物除く）
W1,000×D1,500×H1,100