Polishing Waste Liquid Treatment System研磨廃液処理システム
研磨廃液処理システム
概要
当社の濃縮技術を用い、生産設備や工場から排出される廃液を減容し、廃液産廃コスト削減。環境負荷低減を実現します。CMP工程やバックグラインド工程で発生する廃液の砥粒を回収し、分離した透過液をご要望に合わせて再利用可能とする環境に配慮した設備です。本設備稼働面でも省電力でメンテナンス負荷を低減。 また、既存の廃液プラント設備の負荷を低減します。
特徴
- 研磨廃液を希釈廃液濃度により1/10から1/100まで濃縮して減容。
- 膜を透過した液はご要望により中和後に廃水可能な放流水や市水、あるいは1次純水相当*¹まで処理可能
- 長寿妙な濃縮膜、自動洗浄機能*²、遠隔監視システム*²でメンテナンス頻度を大幅に低減
- ヒーター不使用。加熱処理を行わず、主にポンプ運転のみで省電力。
- コンパクト設計。既存工場においても設置場所を選びません。
*1、廃液状況による。 *2、オプション
研磨廃液処理システム システム構成図
研磨廃液処理システム（型式：DCT-001002） イメージ外観図
研磨廃液処理システム 型式-仕様
応用事例
- 半導体製造におけるCMP工程のスラリー廃液の産廃コスト削減と水の再利用
- 半導体製造におけるバックグラインド工程のウエハ研磨廃液の産廃コスト削減と水の再利用
- その他
