Plasma productsD-AiPlasma　大気圧プラズマ装置

概要

大気圧の圧力下で反応管（石英ガラス製）の中に、アルゴンガス（Ar）と酸素ガス（O₂）を流し、13.56MHzの高周波電力でプラズマ放電を発生させることにより、活性化されたガスを被処理物の照射面に吹き付けることにより、被処理物表面をプラズマ処理するものです。

特徴

1、石英ガラス管内でプラズマを発生させるため、パーティクルなどの不純物が被処理物に降りそそがれることなく、クリーンなプラズマ処理が可能。
2、プラズマ発生部に消耗部品が少なく、定期的なメンテナンス実施により、10,000時間以上もの長寿命に。
3、大気圧下でプラズマ処理が可能、減圧機器不要で設備投資の初期コストが低減。
4、プラズマ発生部とコントローラ部の二つに分離。プラズマ発生部のみを既存設備や新規設備に組み込むことで、容易にインライン設備を構築することが可能。
5、狙いを定めたエリアをピンポイントで高速プラズマ処理が可能。
6、標準で既存設備との入出力制御機能を保有。既存設備からの信号でプラズマ照射のON/OFFなどの制御可能。

有機物除去：アルミ板(A5025)上の有機汚れ除去例

　　アルミ板のFIPG(液状ガスケット)での接着に対する、大気圧プラズマ処理効果

大気圧プラズマ処理により、アルミ表面の有機汚れ(炭素化合物)が除去され、接着信頼性が向上

表面改質：樹脂材料(PPS)の接着性改善例

大気圧プラズマ処理により、樹脂材料表面に親水性の官能基が生成され、接着信頼性が向上

有機物除去：フォトレジストのアッシング（灰化）例

　　シリコンウェハ上に塗布されたフォトレジストに対する、大気圧プラズマ処理効果

大気圧プラズマ処理により、シリコンウェハ上に塗布されたフォトレジストを高速にアッシング

応用事例

1、レジストアッシング
2、半導体パッケージ工程におけるプラズマクリーニング
3、バンプ前処理/リードフレーム洗浄
4、金属・樹脂他の材料への表面改質（親水化）
5、有機物除去/プラズマクリーニング
6、滅菌処理