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Products製品案内
プラズマ処理装置
ハンディタイプの常圧プラズマユニットから、円筒型、粉体攪拌、多段平行平板型の真空プラズマ装置をご用意しており、各種プラズマを用いて、長年培ってきた半導体・LCD業界を初め、金属業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
ＷＥＴ関連装置
平流し方式、ディップ方式からスピン方式まで、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄などの精密機器を洗浄することに適した装置により、ご要望に応じた製品を提供しております。
エッジクラック検査ユニット
カメラや高感度センサーを用い、ガラス基板のエッジクラックを検出します。また、当システムの応用により、絨毯等の繊維の糸抜け（ほつれ）検出等にも利用可能な検査用の製品をご用意しております。
