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Products製品案内
プラズマ処理装置
ハンディタイプの常圧プラズマユニットから、円筒型、粉体攪拌、多段平行平板型の真空プラズマ装置をご用意しており、各種プラズマを用いて、長年培ってきた半導体・LCD業界を初め、金属業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
ＷＥＴ関連装置
平流し方式、ディップ方式からスピン方式まで、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄などの精密機器を洗浄することに適した装置により、ご要望に応じた製品を提供しております。
研磨廃液処理システム
当社の濃縮技術を用い、生産設備や工場から排出される廃液を減容し、廃液産廃コストを削減。環境負荷低減を実現します。砥粒などの固形物を回収し、分離した透過液をご要望に合わせて再利用可能とする設備。本設備はヒーター不使用、自動洗浄機能により、省電力でメンテナンス負荷を低減。また、既存の廃液プラント設備の負荷を低減します。
エッジクラック検査ユニット
カメラや高感度センサーを用い、ガラス基板のエッジクラックを検出します。また、当システムの応用により、絨毯等の繊維の糸抜け（ほつれ）検出等にも利用可能な検査用の製品をご用意しております。
