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Plasma Processingプラズマ処理用途

幅広い業界で活躍

主な用途は、微細加工・有機物除去、クリーニング、表面改質、
ピール強度、低温焼結他など目的に応じた製品を製造いたします。

業界事例

電子デバイス業界

①エッチング
シリコンウエハ上にプラズマエッチング技術を使い微細な回路パターンを作製する。
②アッシング、デスカム
エッチングによる回路製作後マスクとして使用したレジストを除去する技術、プラズマによる気化剥離する。
③クリーニング
プラズマを用いた洗浄技術。基板上の不純物を除去。
④ピール強度向上
ボンディング等の前処理による接着強度（ピール強度）を向上。

プリント基板業界

①デスミア
レーザー加工ビア底のスミア（残留膜）を除去するためのプラズマクリーニング技術
②めっき前表面改質技術
難めっき材料基板（フッ素樹脂等）へのめっき密着を可能とするプラズマ表面改質技術
③接着剤レス直接接合技術
低誘電材料の電気特性を活かすための接着剤レス直接接合技術、プラズマ改質による分子間接合が接着剤による表面電気特性の低下を受けない５G高速通信基材の開発を可能とします
④低温焼結
銀（Ag）、銅（Cu）等の金属粒子（インク）に対するプラズマを用いた低温焼結により、熱に弱いＦＥＰ等の軽量でフレキシブルな基盤への印刷技術を用いた金属配線（プリンテッドエレクトロニクス）の実現に一役担います

医療業界

①人工骨生体親和性向上処理
プラズマ表面改質により表面活性化，生体親和官能基付与を行え、骨細胞分化速度を高め治療期間の短縮を実現します。
②注射針等の親水化、滅菌
プラズマにより注射針内部をドライの状態で親水化でき、薬の投与がスムーズに行える。また、医療器材の滅菌としても用いられる。
③遠隔医療（5Ｇ技術の応用）
当社のプラズマを用いた難めっき材料基板への表面改質技術と接着剤レス直接接合技術が、高速大容量通信（５Ｇ）技術への応用が期待でき、この５Ｇ技術を用いた遠隔医療開発への貢献にも期待される。

塗装・塗料業界

①難塗装容器等への塗装化技術
テフロン容器（化学薬品）の表面塗装パッケージを可能とする塗料親和をプラズマ表面改質で実現できます。
②顔料混錬のための表面改質技術
顔料（粉体材料）を溶剤と混ぜる際に均一に混ぜることが困難な材料は多い。
電子技研では独自の粉体均一改質装置によるプラズマ改質で様々な顔料材料を改質し溶剤との親和性を向上させることで新しい塗料開発を実現します。

エネルギー業界

①全固体電池開発のための材料改質技術
全固体電池は全て粉体材料で構成されその材料間の接合密着を以下の高めるかが電池特性を上げるキー技術である。
カーボン等の各粉体材料に適合したプラズマ改質を各々に処理し混合して電池を作製することで固体電池の特性向上を実現できます。

自動車業界

①電気自動車等の電池開発のための材料改質技術
全個体電池は全て粉体材料で構成されその材料間の接合密着を以下の高めるかが電池特性を上げるキー技術である。
カーボン等の各粉体材料に適合したプラズマ改質を各々に処理し混合して電池を作製することで固体電池の特性向上を実現できます。②自動運転、スマートハイウェイ技術への期待（5G技術の応用）当社のプラズマを用いた難めっき材料基板への表面改質技術と接着剤レス直接接合技術が、高速大容量通信（５Ｇ）技術への応用が期待でき、この５Ｇ技術を用いた自動運転、スマートハイウェイ技術開発への応用が期待されます。