Plasma productsバレルタイプ 　減圧プラズマ処理装置

概要

低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。
等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。
50枚までの半導体ウエハ上のレジストアッシング，電子部品の一括クリーニングの他、各種材料の親水化／撥水化など、表面改質等に活用されています。

特徴

1、等方性プラズマにより、対象物の形状を問わず処理が出来ます。
2、処理室ｻｲｽﾞやRF出力仕様は用途に合わせてカスタマイズ致します。
3、タッチパネル操作。AUTO/MANUALモード切替。
4、小フットプリント。
5、オプションのアルミトンネル設置による低ダメージ化。

応用事例

1、レジストアッシング / 絶縁膜エッチング
2、バンプ前処理 / UBMメッキ前処理 / リードフレーム洗浄
3、ナノカーボン粒子・金属・樹脂・他への表面改質 (親水化 / 撥水化 / 還元)
4、多孔質人工骨の親和性向上
5、精密金型洗浄 / 有機物除去
6、滅菌処理

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バレルタイプ 減圧プラズマ処理装置　PB Series