株式会社電子技研は、これまでの半導体・LCD業界での豊富な経験をもとに、医療、金属関連他、あらゆる分野において、ニーズにマッチするハード、ソフトを追及します。プロセス開発、機械設計、ソフト設計、製造、施工、メンテナンスサービスにいたるまで、あらゆるサービスを迅速かつフレキシブルに対応、ご提案、提供します。

装置/関連機器関係

創業以前より取組んできた真空プラズマ装置を始め、各種搬送装置他、お客様のニーズやオーダーに応じた装置をご提供します。

  • ドライエッチング、アッシング装置
  • プラズマクリーニング・表面改質装置
  • LCD等基板搬出装置
  • WET関連装置、薬液供給装置
  • その他

装置/関連機器関係に伴う取扱部品

装置及びその他精密装置に関連する各機器、部品を取扱いしております。

  • アルミ、ステンレス等の金属加工部品及びセラミック、石英加工部品
  • テフロン、ベスペル、セラゾール等の各種樹脂加工部品
  • 各種流量計、フィルター(マスフロー、電磁流量計等)
  • 各種バルブ(高低圧バルブ、ベローバルブ弁、ダイヤフラム弁)
  • 各種ヒーター
  • 各種真空機器(真空ゲージ、真空ポンプ、真空バルブ等)
  • 高周波電源ユニット
  • 除害機 他

その他、工場内関連備品

作業用テーブルや台車、棚他、新たに工場立上時などには、思った以上にコストが掛かるものです。
当社はこれらの備品を纏めてお受けすることにより、お客様のご要望にあった商品を低価格でご提供します。

  • クリーンベンチ
  • クリーンフード
  • 作業用テーブル
  • 製品ストック棚
  • 各種作業冶具
  • 各種ストック台車
  • その他

メンテナンスサービス

半導体/LCD製造装置及びその他精密装置のセットアップ及び保守メンテナンス、オーバーホールから デバイスメーカー様等の工場内既存装置の保守委託まで請負います。

<主なメンテナンス内容実績>

  • 装置メーカー委託によるセットアップ作業や既存マシンのトラブル対応
    @新規納入装置のセットアップ作業
    A既存装置のトラブルコール対応処理
    B現地出張修理作業
    C自社工場内での装置オーバーホール
  • 中古装置の移設、オーバーホール
  • 図面の無い加工品パーツ再製作
  • 工場内装置の保守作業及び改善提案

<対象実績装置>

  • ドライエッチング装置、CVD装置、WET関連装置、イオンドーピング装置、LCD基板搬送装置、LCD検査装置
  • ※対象実績装置には、デバイスメーカー工場内保守対応装置を含みます。
  • ※詳細については、当社営業部までお問い合わせください。

技術員派遣業務

精密機械作業経験者により、装置立上時等の作業を支援します。固定費の削減の他、教育に掛かる時間、費用の削減も可能になります。

装置/関連機器関係に伴う各種工事

装置立上及びメンテナンス時に発生する配管工事他関連工事までサポートします。

  • 配管工事
  • 配線工事
  • ダクト工事
  • その他関連工事一式